1.化学法将氧化钇溶解于盐酸中并稀释至100～150ｇ／L(按Y2O3计)，溶液加热至70～80℃，再用48％的氢氟酸沉淀。沉淀经洗涤、过滤、干燥粉碎、真空脱水制得氟化钇。

2.用氨水沉淀硝酸钇得到氢氧化钇。将沉淀洗涤并在铂皿中反复多次加氢氟酸溶解、蒸发；

干法合成：将几毫克Y2O3装入铂坩埚并置于铂真空仪中，抽真空，通入干燥的H2、HF混合气体，温度上升到700℃，维持2h。冷却，再一次抽真空，以除掉气体物质。几毫克产物在铂坩埚中，真空度为10-5～10-6mmHg（1mmHg=133.322Pa）下加热到1400℃，然后以2℃/min的速度降温到1000℃，最后迅速下降到室温，可以得到YF3单晶；

湿法合成：5～15mg Y2O3溶于4mL HCl(6mol/L)中，加入6mol/L氨水直至凝胶状的氢氧化物出现，加入HCl使溶液再次澄清。溶液置于能耐HF腐蚀的塑料管中，沸水浴加热，加入1～2mL浓氢氟酸，加热1h后，离心，100～150℃下干燥，所得物质在电炉中加热1h(真空度10-5～10-6mmHg)直至t＝1000～1400℃。

 

1.氟化钇主要用于制备金属钇及其合金、晶体激光材料、上转换发光材料、特种玻璃、光氟化物玻璃导纤维、化学传感器和生物传感器、灯用电极及喷涂材料等。

2.氟化钇作为一种晶体材料，可以通过热蒸发成膜，而且蒸发速率非常稳定，透明度好，用于LED显示领域。

3.氟化钇在电子工业也有很大应用潜力。氟化钇掺杂可提高钛酸锶钡介电性能；氟化钇电子注入层能提高OLED器件性能；氟化钇薄膜还广泛用于各种衬底上的增透膜的设计。氟化钇也应用在微电子刻蚀机或其它等离子刻蚀机内；氟化钇也可作为高燃料电池固体电解质涂层、高温燃料电池电极涂层、氧敏感感测器电解质涂层、氧敏感感测器电极涂层。